个人简历
南京大学教授级高工，登峰人才支持计划入选者，国家青年人才，研究兴趣：电子束光刻芯片工艺技术、硅基光电子芯片微纳制造、太赫兹探测器芯片及系统应用；在Nature及其子刊等发表论文70余篇，授权发明专利多项。邮箱：tuxuecou@nju.edu.cn
研究方向
电子束光刻芯片工艺技术、硅基光电子芯片微纳制造、太赫兹探测器芯片及系统应用。
主要课程
现代微纳加工技术
个人简历
南京大学教授级高工，登峰人才支持计划入选者，国家青年人才，研究兴趣：电子束光刻芯片工艺技术、硅基光电子芯片微纳制造、太赫兹探测器芯片及系统应用；在Nature及其子刊等发表论文70余篇，授权发明专利多项。邮箱：tuxuecou@nju.edu.cn
研究方向
电子束光刻芯片工艺技术、硅基光电子芯片微纳制造、太赫兹探测器芯片及系统应用。
主要课程
现代微纳加工技术
