微纳加工设备

高真空磁控溅射系统

（电子楼二楼微纳加工中心）

激光直写系统

（电子楼二楼微纳加工中心）

高真空原位制备系统

（电子楼245）

高真空磁控溅射系统

（电子楼二楼微纳加工中心）

高真空磁控共溅射系统

（电子楼二楼微纳加工中心）

高真空磁控溅射系统

（电子楼二楼微纳加工中心）